下载一种工件擦拭装置和工件清洗设备的技术资料

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本实用新型属于芯片工艺技术领域,尤其涉及一种工件擦拭装置、工件清洗设备和工件清洗工艺。所述工件擦拭装置可与擦拭带配套使用,工件擦拭装置包括:支架;张紧机构,所述张紧机构设置在所述支架上,用于张紧擦拭工件的所述擦拭带;夹持机构,所述夹持机构设...
该专利属于深圳市合力泰光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市合力泰光电有限公司授权不得商用。

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