下载晶体定向磨料有序排布的金刚石砂轮制备方法的技术资料

文档序号:26357601

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本发明公开了一种晶体定向磨料有序排布的金刚石砂轮制备方法。采用光刻技术制备控形薄膜,将其贴敷于基体外圆周面,并均匀喷涂金刚石微粉作为后续沉积用的金刚石种子;采用EACVD技术对金刚石种子沉积一层无定形碳,为后续合成的金刚石磨粒进行晶体定向;...
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