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用于载流子浓度和迁移率的非接触式测量的装置包括：微波源（１６）；用于向位于测试位置的样品（５９）（例如半导体晶片或平板显示器的屏面）发送微波辐射的圆波导（５０）；用于检测正向微波功率的第一检测器（１８）；用于检测被样品反射的微波功率的第二检...
该专利属于勒海顿电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过勒海顿电子公司授权不得商用。

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