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复合基板上的表面声波设备制造技术
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文档序号:26348977
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本发明涉及一种表面声波设备,所述表面声波设备使用纵向极化导波,所述表面声波设备包括复合基板(7),所述复合基板(7)包括形成在基底基板(9)之上的压电层(11),其中,所述压电层(11)相对于所述基底基板(9)的晶体取向使得纵向极化波的相速...
该专利属于福瑞斯恩系统所有,仅供学习研究参考,未经过福瑞斯恩系统授权不得商用。
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