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先进三维半导体结构的制造方法以及由该方法生产的结构技术
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下载先进三维半导体结构的制造方法以及由该方法生产的结构的技术资料
文档序号:26348809
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本发明提供了一种在三维半导体的制造中互连金属结构的方法,所述方法包括:使得第一基板的第一上表面和第二基板的第二上表面提供有粘接层;使得第一上表面与第二上表面粘接,以便提供粘接部;穿过第一基板的底表面、穿过第一基板、绕嵌入第一基板中的第一金属...
该专利属于路明光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过路明光电有限公司授权不得商用。
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