温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种测量装置，基于向检查对象照射了激光的情况下产生的振动来测量检查对象，具备：会聚位置导出部，基于照射激光的激光装置与激光的照射部位之间的距离，导出对激光进行会聚的激光会聚单元的会聚透镜间的距离的调整量；以及通信部，将包括表示调整...
该专利属于国立研究开发法人量子科学技术研究开发机构所有，仅供学习研究参考，未经过国立研究开发法人量子科学技术研究开发机构授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。