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一种用于从THz频带测量将图案解码的基于太赫兹(THz)的绝对定位系统的编码器。该编码器包括具有多层反射/透射结构的标尺，该多层反射/透射结构包括具有行的矩阵。矩阵的各行对应于多个图案，使得各个图案用于形成测量。发射器向标尺发射THz波形。...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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