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本发明公开一种三电极结构的静电探针系统，三电极探针单元收集电子电流和离子电流，通过耐高压射频降噪单元去除射频噪声；去除射频噪声后的电流经取样电阻后输入到功放单元，经功放单元的接地端构成探针回路；功放单元将信号控制及数据处理单元产生的周期性扫...
该专利属于中国科学院力学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。

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