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一种测试探针对准设备包含一个可旋转平台，其与工件定位用平台分离，因此工件定位用平台可以使工件移动于一Ｘ－Ｙ平面中而不会移动θ平台，从而抑制工件定位用平台中的震动及惯性，并提高工件移动的速度及精度。θ平台被驱动，绕着一个基本上垂直于Ｘ－Ｙ平面...
该专利属于电子科学工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科学工业公司授权不得商用。

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