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一种基于反应离子刻蚀的黑硅钝化接触电池的制备方法技术
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文档序号:26345420
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本发明涉及一种基于反应离子刻蚀的黑硅钝化接触电池的制备方法。该方法包括:对制绒后的n型单晶硅基体前表面进行反应离子刻蚀处理,以在微米级的金字塔结构上形成纳米级孔洞结构;清洗n型单晶硅基体,以去除反应离子刻蚀过程中产生的残留物和离子轰击形成的...
该专利属于泰州中来光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州中来光电科技有限公司授权不得商用。
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