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本发明实施例公开了一种侧向结构雪崩光电探测器及其制备方法,其中,所述侧向结构雪崩光电探测器包括:衬底,包括一第一半导体材料区;在第一半导体材料区内形成有雪崩区;第一外延生长层,形成为吸收区;第一外延生长层的上表面为吸光面且凸出于第一半导体材...该专利属于武汉光谷信息光电子创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光谷信息光电子创新中心有限公司授权不得商用。
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本发明实施例公开了一种侧向结构雪崩光电探测器及其制备方法,其中,所述侧向结构雪崩光电探测器包括:衬底,包括一第一半导体材料区;在第一半导体材料区内形成有雪崩区;第一外延生长层,形成为吸收区;第一外延生长层的上表面为吸光面且凸出于第一半导体材...