下载光电二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:26345399

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本发明适用于光电探测技术领域,提供了一种光电二极管及其制备方法,该方法包括:在衬底上依次制备第一接触层和设置有上电极的台面结构,形成第一样品;在第一样品上生长第一介质层并刻蚀,使在台面结构上表面形成石墨烯场板介质层;将制备的多层石墨烯薄膜转...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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