下载一种高效多工位同步固晶装置及方法的技术资料

文档序号:26345230

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本发明涉及高效多工位同步固晶装置,包括支架、机械手以及晶片定位治具,机械手的活动端设置有安装板,安装板上贯穿设置有多个旋转轴;安装板上设置有驱动组件;旋转轴的下端两侧分别纵向滑动设置有点胶杆和吸嘴杆;点胶杆的上端连接有第一连杆,吸嘴杆的上端...
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