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本发明涉及一种激光激发声表面波测量系统的参数优化方法，用于对薄膜特性进行检测，包括下列步骤：建立薄膜衬底结构的双层有限元模型，设置单脉冲分段函数及相应材料的热学参数来实现短脉冲激光激发声表面波；改变线元宽度研究得出表面波信号的最大位移幅值随...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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