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一种基于数据驱动控制的压电微定位平台轨迹跟踪控制方法，属于微纳控制技术领域。本发明的目的是采用紧格式动态线性化方法对建立的非线性模型进行转化为基于输入输出数据增量形式的数据模型，并通过最小化压电微定位平台系统误差和控制量变化率准则函数求取控...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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