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检测应力迁移性质的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:2634160
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一种用于检测一最终被设置在一产品相关壳体(G)中之半导体模块(IC)的应力迁移性质的装置,包括: 一应力迁移测试结构(SMT),是为了检测该应力迁移性质的目的而形成在该半导体模块(IC)中;以及 一集成加热装置(IH),是为了局...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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