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单晶硅提拉用石英玻璃坩埚及其制备方法技术
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文档序号:26338056
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在单晶硅的提拉工序中不仅使坩埚的整个外面确实地结晶化,而且防止结晶层的起泡剥离,由此提高坩埚的强度。石英玻璃坩埚(1)含有:由不含气泡的二氧化硅玻璃构成的透明层(11)、设置在透明层(11)的外侧且由含有大量气泡的二氧化硅玻璃构成的气泡层(...
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