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非导电探针检测铁电材料微区极性分布的方法技术
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文档序号:2633768
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非导电探针检测铁电材料微区极化特性分布的方法,属于材料分析与表征技术领域。包括:准备;聚焦;调光;进针;形貌预扫描,根据形貌预扫描确定是否更换探针;确定检测电场的电压和频率;精确扫描;退针,数据处理和像输出等步骤。其实质是采用非导电探针,将...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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