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本申请公开了一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺，可动镜面与另一镜面相对设置以形成腔体，可动镜面包括镶嵌有透明材料的硅层，硅层的镶嵌有透明材料的部分形成透光区域，硅层的外围区域与另一镜面连接的部位形成支撑结构，在支撑结构与透光区域之间的...
该专利属于深圳市海谱纳米光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市海谱纳米光学科技有限公司授权不得商用。

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