温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种铁电薄膜材料Ⅰ－Ⅴ特性的测量方法及装置，属于铁电薄膜材料测试领域。本发明的装置包括样品台（１）、探针台（２）、静电计（３）、屏蔽罩（４）、计算机及自动控制和数据处理软件（５），本发明的测量方法采用自编软件实现自动控制测量以及数...该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种铁电薄膜材料Ⅰ－Ⅴ特性的测量方法及装置，属于铁电薄膜材料测试领域。本发明的装置包括样品台（１）、探针台（２）、静电计（３）、屏蔽罩（４）、计算机及自动控制和数据处理软件（５），本发明的测量方法采用自编软件实现自动控制测量以及数...