温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备，硅片导入腔和/或沉积腔和/或缓冲腔安装有真空泵、加热器和冷凝泵，利用真空泵、加热器和冷凝泵，真空泵和冷凝泵配合使用，设备能够快速排除腔室内的水气，降低腔室中的水气分压，并将水气分压...
该专利属于中威新能源(成都)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中威新能源(成都)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。