下载具有Г型栅的GaN基MIS-HEMT器件的技术资料

文档序号:26329502

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本实用新型公开了一种具有Г型栅的GaN基MIS‑HEMT器件,所述器件包括AlGaN/GaN异质结外延层等结构,所述器件还包括一Г型栅电极,所述Г型栅电极包括栅帽和栅脚,栅脚的一端和栅帽的部分下表面连接,另一端和第二开口处部分暴露的栅介质层...
该专利属于中山市华南理工大学现代产业技术研究院;华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山市华南理工大学现代产业技术研究院;华南理工大学授权不得商用。

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