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本实用新型公开了一种MEMS图像传感器像元，包括衬底、桥墩、桥面和桥臂，桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，所述桥臂的横截面呈周期性曲折状。本实用新型将桥臂的横截面设计成周期性曲折状...
该专利属于中科微机电技术(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科微机电技术(北京)有限公司授权不得商用。

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