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一种采用柔性连接管路的单晶炉，包括排气单元、上炉体，所述排气单元包括第一连接管、波纹管、第二连接管、负压组件，所述第一连接管的一端与上炉体的内腔连通，所述第一连接管的另一端与波纹管的一端连接，所述波纹管的另一端与第二连接管的一端连接，所述第...
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