温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型实施例提供了一种化学气相沉积用导气料柱及化学气相沉积炉，所述导气料柱包括同轴设置的多个分体单元和至少一个连接单元，两个相邻的所述分体单元之间通过一个所述连接单元连接，其中，所述分体单元呈筒状；所述分体单元包括多个条状连接块，所述条...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。