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本实用新型公开了一种内腔件去应力退火防氧化装置，包括防氧化炉、真空泵、全面接收装置和防氧化蒸射装置，所述防氧化炉为中空腔体设置，所述全面接收装置设于防氧化炉内上方，所述防氧化蒸射装置设于防氧化炉内底部，所述真空泵设于防氧化炉上，所述防氧化蒸...
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