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本发明的基板检查装置在固定侧底座３及可动侧底座２的一个底座上安装基板检查用夹具７，而且在另一个底座上安装基板按压夹具５，并使前述可动侧底座２升降。在该基板检查装置中是下述这样构成，即在基板检查用夹具７与基板按压夹具５之间配置抽出结构的基板保...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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