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一用于非接触地测量薄层电荷密度和迁移率的装置（１０）包括一微波源（１６），一圆波导（５０），用于向在一测量位置的一样本（５９），如用于平板显示器的一半导体晶片或板，传输微波功率，用于检测该正向微波功率的一第一检测器（１８），用于检测从该样本...
该专利属于美商立海顿电子公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商立海顿电子公司授权不得商用。

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