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一种通过扩散来在氮化镓材料中形成掺杂区的方法，包括：提供包括氮化镓层的衬底结构以及在所述氮化镓层上形成掩模。所述掩模暴露所述氮化镓层的顶表面的一个或多个部分。该方法还包括：在所述氮化镓层的所述顶表面的所述一个或多个部分上沉积含镁氮化镓层，并...
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