温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种阻抗匹配系统包括阻抗匹配网络和控制器，所述阻抗匹配网络被耦合在交流(AC)发生器与等离子体腔室的电极之间，所述AC发生器生成具有不同幅度水平的循环重现的脉冲间隔的多水平脉冲信号，所述控制器识别每个重现的脉冲间隔；并且针对每个脉冲间隔：确...
该专利属于先进工程解决方案全球控股私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进工程解决方案全球控股私人有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。