下载阻抗匹配系统及其操作方法的技术资料

文档序号:26309320

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一种阻抗匹配系统包括阻抗匹配网络和控制器,所述阻抗匹配网络被耦合在交流(AC)发生器与等离子体腔室的电极之间,所述AC发生器生成具有不同幅度水平的循环重现的脉冲间隔的多水平脉冲信号,所述控制器识别每个重现的脉冲间隔;并且针对每个脉冲间隔:确...
该专利属于先进工程解决方案全球控股私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进工程解决方案全球控股私人有限公司授权不得商用。

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