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硅熔液的对流图案控制方法、单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置制造方法及图纸
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下载硅熔液的对流图案控制方法、单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置的技术资料
文档序号:26309029
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一种对流图案控制方法,其具备使用加热部(17)加热石英坩埚(3A)内的硅熔液(9)的工序以及对旋转中的石英坩埚(3A)内的硅熔液(9)施加水平磁场的工序,在加热硅熔液(9)的工序中,使用两侧的加热能力不同的加热部(17)进行加热,所述两侧在...
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