下载硅熔液的对流图案控制方法、单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置的技术资料

文档序号:26309029

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种对流图案控制方法,其具备使用加热部(17)加热石英坩埚(3A)内的硅熔液(9)的工序以及对旋转中的石英坩埚(3A)内的硅熔液(9)施加水平磁场的工序,在加热硅熔液(9)的工序中,使用两侧的加热能力不同的加热部(17)进行加热,所述两侧在...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。