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本发明提供了一种MEMS扬声器及其制造工艺，该MEMS扬声器包括基底、活塞板、驱动组件以及柔性导向件，该基底形成有空腔，该活塞板活动设置在空腔内，驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板沿着所述空腔做往复运动，柔性导向件和所述活塞板形成...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。

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