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本申请涉及ECR离子源和用于操作ECR离子源的方法。本发明涉及ECR离子源(1)，其具有：圆柱形的等离子体腔室(2)和用于产生磁场磁体(3)，以使等离子体包围在等离子体腔室(2)中；以及微波发生器(8)，其用于在等离子体腔室(2)的外部产生...
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