下载一种五自由度的激光反射调整装置的技术资料

文档序号:26303313

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本发明公开了一种五自由度的激光反射调整装置。可以实现反射镜沿X轴和Z轴平移,同时绕X轴、Y轴、Z轴旋转。且沿X轴方向,位移的调整范围为0‑70mm。沿Z轴方向,位移的调整范围为0‑225mm。绕X轴、Y轴和Z轴方向,角度的旋转范围为0°‑5...
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