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为了解决现有的光学系统波前测量方案易受环境扰动影响、探测精度较低的技术问题,本发明提供了一种光学系统波前测量装置及方法。本发明首先设计出一种拼接式分光棱镜实现对光学系统焦面附近的光束分光,在分光棱镜后安装探测器组成波前探测装置;该波前探测装...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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为了解决现有的光学系统波前测量方案易受环境扰动影响、探测精度较低的技术问题,本发明提供了一种光学系统波前测量装置及方法。本发明首先设计出一种拼接式分光棱镜实现对光学系统焦面附近的光束分光,在分光棱镜后安装探测器组成波前探测装置;该波前探测装...