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本发明公开了一种真空室扇区内壁多点多普勒激光测振仪检测设备，该检测设备包括至少一个检测装置，每个检测装置包括底座安装系统、回转系统、摆动系统、检测系统以及驱动系统。底座安装系统包括下安装底座，下安装底座安装在真空室的中央支架的最小形变处。回...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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