下载一种带预紧阀的压电陶瓷微流控泵及其使用方法的技术资料

文档序号:26301435

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本发明涉及微流控技术领域,且公开了一种带预紧阀的压电陶瓷微流控泵,包括主体,所述主体的下表面设置有金属基板,所述金属基板的下表面设置有压电陶瓷振子,所述主体腔体中设置有进口阀门和出口阀门。这种构造极大程度上减小了泵的“死区(即泵腔内压电陶瓷...
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