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用于检测高频信号的传感器制造技术
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下载用于检测高频信号的传感器的技术资料
文档序号:2629787
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本发明提供一种感测入射RF信号的传感器。该传感器能够感测千兆赫(GHz)和兆兆赫(THz)范围内的信号。该传感器可以利用一个或者多个悬臂、干涉仪,或者,可以形成为箱型的结构。...
该专利属于森特拉公司所有,仅供学习研究参考,未经过森特拉公司授权不得商用。
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