下载精密位移工作台的技术资料

文档序号:26296598

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本发明公开了一种精密位移工作台,涉及微位移设备领域,该精密位移工作台可在XY平面内精确定位。在X轴上:内设有工装底板,底板上安装有U形支撑板,U形支撑板内安装有滚珠丝杆模组、伺服电机和光栅尺传感器、轴承支撑座,轴承支撑座上安装有两根导杆,可...
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