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本实用新型提供一种改良型导气组件，包括进气盘和出气盘结构，进气盘的外侧面周向阵列设置有若干进气孔，进气盘的上表面绕轴心周向阵列设置有若干长槽A，进气孔横向延伸至长槽A的下方并且通过通气孔A与长槽A连通；长槽A的长度大于相邻两长槽A之间的相距...
该专利属于中之半导体科技(东莞)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中之半导体科技(东莞)有限公司授权不得商用。

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