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一种基于十字梁结构的石墨烯高压压力传感器制造技术
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文档序号:26288517
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一种基于十字梁结构的石墨烯高压压力传感器,包括:封装外壳,封装外壳内侧底部设置安装槽;膜片,膜片设置在封装外壳的顶部;基座,基座设置在安装槽内;基片,基片设置在基座上,基片中心开设有方形孔,方形孔上设置有十字梁,十字梁与基片的连接处均设置有...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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