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本发明公开了一种互连线失效检测方法，包括，将至少两个以上具有相同互连线规模的互连线单元串接起来构成失效探测电路；向失效探测电路输入测试电流，并测量失效探测电路两端的电压；如果所测得的电压大于或等于设定电压值时，则失效探测电路中出现互连线失效...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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