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光学检查装置制造方法及图纸
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文档序号:2628635
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本发明提供一种光学检查装置,可以防止因检查对象的折弯、下垂等造成的畸变现象。本发明的光学检查装置包括:载物台,放置检查对象;拍摄单元,对放置在所述载物台上的检查对象进行拍摄;照明单元,对所述检查对象照射光;以及滚动构件,支撑用所述拍摄单元进...
该专利属于AJU高技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过AJU高技术公司授权不得商用。
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