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一种流速测量传感器由皮托管、分别设于皮托管前端和侧部的总压传感器和静压传感器组成,总压传感器和静压传感器分别由硅压阻敏感组件组成,硅压阻敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感元件,具有E型岛膜结构,总压传感器中硅压阻敏感组件设于皮托管前端管腔...该专利属于昆山双桥传感器测控技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山双桥传感器测控技术有限公司授权不得商用。
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一种流速测量传感器由皮托管、分别设于皮托管前端和侧部的总压传感器和静压传感器组成,总压传感器和静压传感器分别由硅压阻敏感组件组成,硅压阻敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感元件,具有E型岛膜结构,总压传感器中硅压阻敏感组件设于皮托管前端管腔...