下载带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺的技术资料

文档序号:2627579

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一种微机电系统技术领域的带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺,包括:压电体、驱动电极、模态检测电极、集中质量块,其中,驱动电极、模态检测电极、感应电极、集中质量块设置在压电体的上下表面,和压电体形成固定连接。在压电体某阶特殊振动模态下,压电...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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