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本实用新型涉及一种电容式ＭＥＭＳ加速度传感器，其是由中间电极、上下电极构成的三明治式差动电容结构，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特点是中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。这样，当质量块做上下位移时，腔室中...
该专利属于威海双丰电子集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威海双丰电子集团有限公司授权不得商用。

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