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本实用新型所提供的一种集成硅微电阻式加速度传感器，包括基座、壳体，由八根为应变梁支承的质量块，压敏电阻及电桥电路所构成检测芯片，测量部分为整体结构，采用微机械专用双抛硅晶片。抗过载能力强，用一个传感器可一维到三维和任意方向的加速度检测。...
该专利属于华北工学院微米纳米技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过华北工学院微米纳米技术研究中心授权不得商用。

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