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晶片中的挠性构件及其制造方法技术
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文档序号:2626478
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用于加速计之类微力学量传感器中的挠性构件及其制造方法,在传感器中第一部件(124)枢轴式地连接到第二部件(126)上。一方面,本发明提供连接第一和第二部件的第一和第二挠性构件(108,118),使得能够围绕共同枢轴(128)转动。挠性构件具...
该专利属于森德斯特兰德数据控制公司所有,仅供学习研究参考,未经过森德斯特兰德数据控制公司授权不得商用。
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