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一种抽取组，其包括抽取板、阻挡器及用于阻挡器的固持机构。所述抽取组包括抽取板，所述抽取板能够由涂布有陶瓷材料的钛构造而成。抽取板使用销附装到离子源。抽取板还包括位于其内表面中的隆起轮廓，所述隆起轮廓用于将阻挡器固定到抽取板的内表面。阻挡器的...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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