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一种多参数自动调控高效旋转式喷淋蚀刻系统，其包括自动控制中心、蚀刻基板、电机、蚀刻箱、蚀刻液喷射装置、转动导杆、压力表、流量计、离心泵、蚀刻液收集箱、ORP(oxidation‑reduction potential)氧化还原计、加热器、输...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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